光刻機(jī)作為集成電路生產(chǎn)中不可或缺的重要設(shè)備之一，一直以來都決定了先進(jìn)制程的發(fā)展速度，而阿斯麥(ASML)是歐洲最大的技術(shù)公司，主導(dǎo)著光刻市場。

近期，光刻巨頭荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備公司阿斯麥?zhǔn)紫瘓?zhí)行官Peter Wennink表示，今年將按計(jì)劃在其下一個(gè)產(chǎn)品線中推出首款測試工具。據(jù)了解，該款高數(shù)值孔徑的極紫外光刻(EUV)機(jī)器只有卡車大小，每臺(tái)成本超過 3 億歐元，頂級芯片制造商需要這些機(jī)器，以便他們能夠在未來十年生產(chǎn)更小、更好的芯片。

不過，在分析人士看來，EUV 光刻技術(shù)或非是通向先進(jìn)制程的必由之路。

“未來幾年可能會(huì)出現(xiàn)所謂下一代光刻技術(shù)，如NIL(納米壓印光刻)?！币追劫Y本研究部主管王逸研對第一財(cái)經(jīng)表示，傳統(tǒng)的EUV(極紫外光刻)光刻機(jī)在制造晶體管時(shí)會(huì)遇到它的物理極限，NIL光刻機(jī)最大的好處是光源相對便宜，即不需要用能源轉(zhuǎn)換效率低的EUV的激光源，而是只用一些DUV(深紫外光刻)或者是更成熟的光源就可以結(jié)合納米涂層的方法實(shí)現(xiàn)一至兩納米制程的量產(chǎn)。

EUV技術(shù)如何演進(jìn)？

美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院（NIST）發(fā)布的一份有關(guān)EUV光刻機(jī)的報(bào)告指出，當(dāng)今最先進(jìn)的半導(dǎo)體光刻工藝使用EUV光源，特別是13.5nm分辨率的光。EUV光允許在半導(dǎo)體中構(gòu)建更小的單位特征，而這種光由上文提及的EUVL系統(tǒng)生成，這項(xiàng)技術(shù)由阿斯麥于2019年首次部署并一直保持著100%的市場份額。

1997年，美國半導(dǎo)體巨頭英特爾公司和美國能源部就共同發(fā)起成立了EUV有限責(zé)任公司，即EUV LLC，研究EUV光刻技術(shù)。隨后，EUV LLC納入ASML，允許其享受基礎(chǔ)研究成果。

加入EUV LLC后，ASML便在EUV的研發(fā)進(jìn)度上突飛猛進(jìn)。在尋求政府經(jīng)費(fèi)幫助、吸收下游制造商投資、聯(lián)合研究所研發(fā)等一系列舉措的支持下，ASML最終于2010年成功推出第一臺(tái)EUV光刻機(jī)NXE：3100。

當(dāng)前，市面上主流的EUV光刻機(jī)是ASML的NXE：3400C和NXE：3400D。ASML官網(wǎng)的參數(shù)顯示，兩者均支持7納米和5納米節(jié)點(diǎn)的EUV量產(chǎn)，后者的生產(chǎn)效率相比前者提高了15%至20%。

2022年，ASML稱收到了供應(yīng)商提供的第一個(gè)高數(shù)值孔徑機(jī)械投影光學(xué)器件和照明器以及新的晶圓載物臺(tái)。這兩個(gè)模塊將用于下一代EUV光刻機(jī)EXE:5000的初始測試和集成。據(jù)了解，ASML EXE:5200系統(tǒng)具備High-NA 系統(tǒng)和每小時(shí) 220 片晶圓生產(chǎn)率的性能。

ASML做出的最新技術(shù)規(guī)劃認(rèn)為，EUV光刻的未來發(fā)展將把數(shù)值孔徑（NA）從0.33增加到0.55(High NA)。業(yè)界預(yù)測，High-NA EUV將面向2納米乃至埃米級工藝節(jié)點(diǎn)，是在未來10-20年成為半導(dǎo)體晶圓制造的頂尖工藝支撐設(shè)備之一。ASML預(yù)計(jì)High NA系統(tǒng)將于2023年底交付給客戶，用于大批量制造的全平臺(tái)工藝預(yù)計(jì)將于2025年投入運(yùn)營。

上述報(bào)告中提到，EUVL是制造下一代半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵步驟。據(jù)報(bào)告測算，一套EUVL系統(tǒng)目前耗資約1.5億美元。迄今為止，ASML已經(jīng)交付了三種不同型號(hào)的EUVL系統(tǒng)，即Twinscan NXE:3400 B/C和NXE:3600D，NXE系統(tǒng)的總出貨量從2019年第一季度的31臺(tái)增長到2022年第四季度的181臺(tái)。

ASM                4552143A          
ASM                4552200               
ASM                4552183               
EMERSON                VS3202 SLS1508                
KOLLMORGEN        AKM33E-ANCNR-00               
BENTLY                3500/42M 176449-02                
ASM                4552021               
BENTLY                133442-01               
A-B                2711P-B6C20D/D               
HONEYWELL        CC-TUIO31              
PIONEER MAGNETICS        PM3398B-6P-1-3P-E 80026-172-23             
GE                IC695CPU320               
BENTLY                3500/22M 288055-01        
HONEYWELL        SDO-0824                      
HONEYWELL        FC-PDIO01   

ABB                PM511V16 3BSE011181R1       
VIBRO-METER        VM600 CPUM 200-595-067-114       
VIBRO-METER        VM600 MPC4 200-510-071-113 200-510-111-034       
VIBRO-METER        VM600 CMC16 200-530-025-014 200-530-111-013       
VIBRO-METER        VM600 RPS6U 200-582-600-013       
VIBRO-METER        VM600 IOC16T 200-565-000-013 200-565-101-013       
VIBRO-METER        VM600 IOC4T 200-560-000-111 200-560-101-017       
VIBRO-METER        VM600 RLC16 200-570-000-111 200-570-101-015       
VIBRO-METER        VM600 IOCN 200-566-000-112 200-566-101-013       
VIBRO-METER        VM600 204-040-100-012       
HIMA                K9202 996920202      
HIMA                K9203 996920302       
HIMA                K9203A 996920360       
WOODWARD        9907-164       
WOODWARD        5453-203       
WOODWARD        9907-162       
WOODWARD        5453-277       
WOODWARD        5501-381       
WOODWARD        5453-279       
WOODWARD        5466-318       
WOODWARD        5466-425        
WOODWARD        5466-258        
WOODWARD        5501-470       
WOODWARD        5501-471       
ABB                PFEA111-20 3BSE028140R0020        
ABB                PFEA111-20 3BSE050090R20       
BENTLY                3500/77M 176449-07       

COEN                DSF-2000-MB-UV 2653-213-06       
PIONEER MAGNETICS        PM3398B-6P-1-3P-E 80026-172-23       
FOXBORO                FCP270 P0917YZ       
EMERSON                SLS1508        
EMERSON                SLS1508       

EMERSON                KJ2221X1-BA1        
EMERSON                KJ4001X1-BE1 12P0818X072 REV:L        

EMERSON                KJ4001X1-NA1 12P3373X012 REV:C        

EMERSON                KJ4001X1-NB1 12P3368X012 REV:E        

WATLOW ANAFAZE         CLS216        
GE                IC698RMX016-ED       
GE                IC698CRE030-DE       
GE                IC687BEM731-AB        
GE                IC698CHS009A       
GE                IC698PSD300C       
GE                IC698PSA350E